答：超純水的工藝流程主要應用于以下場景：
1. 半導體制造：在半導體制造過程中，需要使用極高純度的水來清潔和沖洗器件，以確保生產過程中的無塵、無菌和無缺陷。
2. 光刻工藝：在光刻工藝中，需要使用超純水來清洗光刻模板和顯影廢液，以確保顯影的準確性和性能穩定性。
3. 醫藥生產：在制藥過程中，需要使用超純水來清洗設備、制備藥品和注射用水，以確保生產出的藥品純度和質量。
4. 食品加工：在食品加工中，需要使用超純水來制備高品質的食品，如飲料、食品添加劑和養殖用水等。
5. 實驗室研究：在生命科學和化學研究中，需要使用超純水來制備試劑、培養細胞和清洗實驗儀器等。

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